原理，结构

FGM221系列气体质量流量计专门用于 气体流量的高精度测量。该系列流量计采用 业内先进流量传感芯片，结合航空铝材抛 光 气体流道设计，配合公司核心的标定和补偿 算法，实现对各类清洁、干燥和无腐蚀性气体 的高精度流量测量。该产品 20SLM以内典型 精度为1%，50SLM典型精度为1.5%，量程 比 均 优 于 2 0 0 : 1 ，此 系 列 产 品 的 量 程 从 20SCCM到，200SLM可选(其它量程可咨询 定制)，并配有液晶屏显示、数字和模拟输出， 方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易 安装、不需要额外温度和压力补偿。